项目流程大环境
某巨型半导体器件开发厂家主设在长三边形省市,重要出产晶圆和集成块。在出产时候中,晶圆切工和cnc精密机械加工分阶段会产生过多磨细液废液,平均排放出物量约50吨。鉴于废液中含高氧浓度浮窗物、金属件铝离子及充分增添剂,间接排放出物会对生活环境导致加重废弃物,厂家主现需开发专科清理基础设施。
生产废水组成成分及渠道
磨研液废气常见因素于晶圆制作加工中的检查是否机诫磨光(CMP)工艺技术,常见环保问题物包含:
自动隐藏粉末物
:二防钝化硅、防钝化铝等研磨抛光颗粒剂,粒度在0.1-1μm,含量自由高达2000mg/L。
塑料化合物
:铜、铁、锌等,是来自于抛光处理垫损耗及晶圆表皮不锈钢层,铜铝离子有机废气浓度约50mg/L。
充分填加剂
:收录外观活性酶类剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸性性元素
:pH值价格波动大,经常在2-11相互间。
进行处理技术步骤流程
对于废水加工加工形态,按照“预加工+什么是生化+宽度加工”组合公式加工:
转换池
:平衡生活饮用水发电量,加耐酸碱调pH至碱性。
混凝土石雕文化沉淀
:加药系统PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),清掉飘浮物和氢氧化铁,沉降后SS清掉率>90%。
催化反应氧化的
:选用Fenton实验试剂(H₂O₂+Fe²⁺)光降解巧妙增添剂,COD消除率达60%。
生物学清理
:MBR膜菌物想法器进这一步化学降解剩于高分子化合物物,COD下降100mg/L以下的。
阳离子互转
:专门用硅胶粘合剂活性炭吸附铜铝离子,出水量铜含水量<0.5mg/L。
砂滤+渗透性炭滤过
:狠抓留水浑浊,做到《污泥总合排放量标准单位的》(GB8978-1996)一层标准单位的。
从而效果好
装置电脑运行稳定的后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
工业废污水处理率达40%,结余及格排卸,年抑制废污水排卸1.7万吨。
除理成本费用约15元/吨,远高于市场平均值。