半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
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该半导体材料单位隶属于长角形区县,包括生育的8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日排放口口废储水量约2000吨。原因生育的的工艺繁杂,废水内含有多个难吸附生产物和天价属阳离子,过去的解决方案不易提供亟须认真的排放口口标准规范。
生产废水成份及来原
废气核心因素于十二个环节:晶圆水刀切割工作废气内含大量硅粉和水刀切割工作液余留;耐腐蚀自动化镜面抛光剂废气食含胶体溶液硅和研磨机颗粒物;刻蚀进行维护清洁废气内含氟化物、铜正离子等血本属;光刻方法废气则内含光阻剂等有机质环保问题物。水质检测特别是COD高(800-1500mg/L)、氟化物氨水浓度高(200-400mg/L)、飘浮物多且内含氢化物发生器血本属。
补救加工制作工艺 环节
采用了"有机化学预治疗+生化学治疗+程度治疗"的结合的工艺:
调理池多样化水质标准水流量
混疑沉淀出的避开悬屏物和溶液化学物质
化学上的沉定法也可以处置氟化物,加药系统钙盐建成氟化钙沉定
油脂水解硝化作用池加快生产废水可生化模式性
接处氧化的池挥发设计环境环境有害特性
过滤性炭过滤塔参与深层办理
膜剥离 操作系统确保安全生产满水后水硬度平稳
对于含铜污水独立設置化合物交換系統,回笼有价值观的金属制铜。
以后体验
顶目俊工后电脑运行安全,留水COD<50mg/L,氟化物浓硫酸浓度值<5mg/L,铜正离子浓硫酸浓度值<0.3mg/L,各个目标均好于国《电商工艺水生活环境挥发性有机物排卸的标准》(GB 39731-2020)。每次可减低COD排卸约300吨,氟化物排卸约50吨,回收分类处理铜复合约2吨,保持了生活环境效果分析与经济社会效果分析的合作共赢。