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半导体研磨废水怎么处理|半导体研磨废水如何处理

項目背景图案 这项目是在华中城市的闻名半导体技术创造厂家,包括生育89厘米和129厘米晶圆。发生变化产能利用率不断提升,碾磨流程形成的废排水量从原来的200吨/日不断增加到350吨/日,和原有进行治理油烟净化器已是无法能够满足消费需求,且水流水污染不可靠,迫切需要搬迁和提升生产废水进行治理系统性。 生产废水部分及因素 该工业企业磨研生活污水通常出于以上制作工艺: 无机化学机诫碾磨(CMP)焦化废水:内含二硫化硅、硫化铝等碾磨颗粒物,粒度分布在0.1-1μm超范围 晶圆反面磨细废渣:有硅粉、重金属阴阳离子(铜、铝等)及少许有机会加剂 切块磨研废水处理:通常部分为无定形碳硅粉末和割孔油精华液 焦化废水因素成绩为:pH值上下波动大(2-11)、浮悬物盐浓度高(500-2000mg/L)、具有轻微高价属和难化学降解无机物,COD一般在200-500mg/L比率。 正确处理加工操作流程 通过屡次小试和中试,结果是判定采用了一下净化处理工学艺: 调整池 :设施pH在线上监控和手动投加药剂体系,将废污水pH稳定性在6.5-7.5领域 混疑乳浊液 :污泥脱水聚合物氯化铝(PAC)和阴正离子型PP酰胺(PAM),混现象后进入斜板滤渣池 溶气气浮 :用于部件流入式溶气气浮,进每一步快速清理犬细小颗粒肥料和固体杂质 多媒质过虑 :利用石英晶体砂+活性氧炭二级净化,保证 出水量SS<10mg/L 膜工作系统化 :涵盖反加入装置(UF)和反加入(RO)有级,RO浓水单一进行处理 污水治疗 :发展随和浮飞灰经板框压滤后土石方工程处治 的关键工艺流程性能:混泥土分阶段G值掌握在60-80s⁻¹,生理反应事件段15min;气浮流入比30%,止步事件段20min;反渗透装置性和装置通量60LMH,反渗透装置性和回收利用率75%。 结果英文效率 程序程序运行稳定性高后,满水后水体质量可以达到《电子无线化工业水弄脏物摆放口标准规范》(GB39731-2020)尤为摆放口规定值要,重点指标值相应: SS<5mg/L(除去率>99%) COD<30mg/L(清除率>93%) 铜阳离子<0.3mg/L 出液回收利用率实现65%以下 废水回收利用40% compared to原技艺 此项目总投入约1200万块人民币,运营成本低约8.5元/吨水,几乎每年可可以减少污水排卸量10亿吨,收回水资源现状英文4亿吨,经济条件经济收益和区域环境经济收益显著性。

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