该晶圆制造技术厂为于华中省市,重点产生方式8英尺半导体行业晶圆,平均污废水 尾气直接废气排放标准量约800吨。伴随产生方式期间中动用一大批盐酸做出晶圆蚀刻,促使污废水 中氟化物渗透压万代高达200-300mg/L,远超部委尾气直接废气排放标准标准(10mg/L下面的)。
焦化废水组成及源于
废水处理方法包括发源两个缓解:
晶圆蚀刻步骤
:含高密度氟化物(HF)、硝酸银及小量巨资属
物理机械性增加光泽(CMP)废水处理工艺
:含微米级硅小粒、生产络合剂
主设备清晰废液
:含异丙醇、氯离子等有机肥料物
清理的工艺流量
利用"催化奠定+混疑奠定+深层脱水"三級外理系统软件:
四级正确处理
:污泥脱水氯化钙和氢硫化钙,产生氟化钙乳浊液,氟化物除去率达85%
二级考试办理
:获取PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),取除橡胶胶体部分态被大气污染物
四级处里
:采用多媒介过滤清洁器和活性酶炭吸收,水流氟化物浓硫酸浓度平稳在8mg/L低于
的关键产品是指:pH自功调准体系、斜管沉淀物中池、板框厌氧颗粒污泥压滤机(厌氧颗粒污泥脱水怎么办)。
从而目的
内容运作5年污染数据监测库界面显示:
氟化物年均溶液浓度:7.2mg/L(最低的国际标准规定)
COD出掉率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年收集氟化钙副产的约150吨,推动资源性化充分利用