该厂为85英寸晶圆生產线配建的超软水装置，每星期诞生含硅废渣150吨。废渣中虽无高价属，但硅硫含量高易积灰，且电阻器率需提高18MΩ·cm功能产业废水工作。原本工作工艺流程无非考虑新颁行的《電子产业水污染源物排污标准化》（GB39731-2020）特备排污允许值。 生产废水含量基本特征 包括造成的工业废气 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、颗粒剂硅（孔径0.1-1μm） 特别规范 ：TOC<10μg/L，硼水平<5μg/L 水的质量性 ：低电阻率（<50μS/cm）但硅单质型态繁杂 处理的工艺标准流程 企业创新选用"梯级膜溶合+电去阳离子"組合流程： 微滤预外理 ：1μm淘瓷膜手机拦截大颗粒状硅，通量维系80LMH 阴阳离子更换聚酯树脂 ：D201大孔硅胶粘合剂选定 性过滤硅酸大分子 二级考试RO平台 ：第1 段回收并率60%，第二点段使用高脱硼膜零件 EDI电去阴离子 ：直流电压密度计算2A/m²，连续除掉残留物阴阳离子 紫外线消毒杀菌 ：254nm分光光度计线含水量40mJ/cm² 高技术短板 发掘专门的阻硅剂（有机化学胺类塑料物），减缓膜环境污染时间间隔3倍 EDI控制器全新流道设计制作，硅祛除率升降至99.8% 在线免费硅讲解仪（量测范围图0.1-500μg/L）满足精准扶贫的控制 运转作用 经最后方在线检测： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含铁从8μg/L降下来0.3μg/L 软件系统环保再生资源回成品率从原40%提高了至68% 膜更改阶段延后至5年，年正常运行费用大大减少35%