佛山某半导体行业集成电路芯片生产厂，晶圆加工生产工作中有含硅、氟的特种生产废液，设汁进行处理大小1200吨/日。生产废液化学成分缜密，具有刺激性nm级硅粉末及盐酸，过去的进行处理的方式得以标准。 废水处理工艺的成分及由来 常见破坏物 ：胶体溶液硅（100-500nm粒度分布）、氟亚铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历繁琐流程 ：晶圆刻蚀废水处理处理方法（45%）、CMP化学工业机器增加光泽废水处理处理方法（40%）、设施清洗阴道水（15%） 进行处理鑫霖环保具体步骤 改革创新用"生物沉定+特中膜剥离 "技木路线规划： 钙盐析出 ：污泥脱水氯化钙清掉氟阴阳离子（提取CaF2水解） 水解酸化池不良反应 ：pp二沉池剂体现溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔的直径膜公款私存微细小粒 反加入系统化 ：脱盐率>98%，利用率75% 蒸发掉沉淀 ：浓水段进行氟化物零尾气排放 最终能够目的 氟化物密度：<8mg/L（降到国家二级标准规范10mg/L） 硅分量：<5mg/L 水能源造纸废水处理率：70%主要用于冷去塔皮肤补水 危废处理减药：汽化杂质量较傳統工艺设备可以减少60%